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Eletrônica
EPMA-1600
Microssonda Eletrônica
Medições de espessura de filmes na faixa de micrometros e
com exatidão de nanometros
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O EPMA realiza análises não-destrutivas através da irradiação da superfície da amostras
com um feixe de elétron focado em pequena escala. Simultaneamente detecta sinais de
elétrons refletidos e transmitidos, raios-X característicos, e cátodo luminescente,
o EPMA fornece análises qualitativas e quantitativas, bem como o estado, linha e mapeamento
de todos os elementos que compreende a faixa de 4Be até 92U.
As dimensões máxima aceitáveis de amostra é 100x100mm.
O exemplo abaixo mostra a análise de um 9ML (camada monoatômica) de um filme de Al
crescido em Si. O EPMA realiza análise com excelente performance quantitativa. A intensidade
do sinal de raios-X é proporcional à espessura do filme, sendo possível medir um filme
de micrometros em nanometros.
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